Reale Fertigungsprozesse besitzen eine endliche Wiederholgenauigkeit, so dass die geometrischen Eigenschaften von gefertigten Bauteilen streuen. Die statistische Toleranzanalyse ist ein Werkzeug, mit dem diese Streuung fruhzeitig im Produktentwicklungsprozess prognostiziert und beurteilt werden kann. Bestehende Methoden der Toleranzanalyse konzentrieren sich auf die Modellierung von Montageprozessen. In dieser Arbeit werden ein mathematisches und ein topologisches Modell dargestellt, mit deren Hilfe die Ubertragung von Geometriefehlern in mehrstufigen Fertigungsprozessen beschrieben und analysiert werden kann. Zur toplogischen Beschreibung von Fertigungsprozessen wird ein auf Metagraphen basierendes Verfahren prasentiert. Es ermoglicht eine anschauliche Visualisierung der komplexen Zusammenhange in verketteten Fertigungsprozessen. Das topologische Modell beschreibt die Zusammenhange zwischen den Positionierungsfehlern der Menge der positionierenden Geometrieelemente und den Positions- und Lagefehlern der gefertigten Geometrieelemente bzw. der gefugten Bauteile. Es wird gezeigt, wie dieses topologische Modell zur Ableitung des kinematischen Modells der Toleranzubertragungsvorgange in mehrstufigen Fertigungsprozessen genutzt werden kann. Ausserdem wird gezeigt, wie diese Art der Modellierung zur Analyse und Optimierung der modellierten Fertigungsablaufe genutzt werden kann. Das Modell basiert auf einer Abstraktion des Fertigungsprozesses als eine Abfolge von Positionierungen. Dadurch konnen sowohl Montagevorgange als auch Einzelteilfertigungsprozesse mit gemeinsamen Werkzeugen beschrieben und analysiert werden. Eine solche Vorgehensweise ermoglicht ein ganzheitliches Toleranzmanagement entlang des gesamten Produktentwicklungsprozesses. Unabhangig von konkreter Geometrie kann das Modell bereits in der Konzeptphase zur Beschreibung von ersten Ideen fur Montagekonzepte eingesetzt werden. In spateren Phasen des Entwicklungsprozesses kann es bei der Ausgestaltung einzelner Arbeitsfolgen oder bei der Montageplanung unterstutzen. Durch die Anwendung eines gemeinsamen Toleranzmodells fur alle Teilaufgaben des Produktentwicklungsprozesses konnen Redundanzen und Bruche in der Verarbeitung von Toleranzinformationen entlang des Produktentwicklungsprozesses vermieden werden. Die Toleranzsynthese dient der Festlegung von Einzeltoleranzen fur einzelne Geometriemerkmale, so dass die Erfullung ubergeordneter Toleranzen sichergestellt wird. Das metagraphenbasierte Modell des Fertigungsprozesses ist in der Lage, hierarchische Beziehungen von Bauteilpositionierungen abzubilden. Es wird darauf eingegangen, wie ubergeordnete Qualitatsanforderungen an das Produkt auf die einzelnen Arbeitsschritte des Fertigungsprozesses heruntergebrochen werden konnen. Lagefehler von gefertigten Geometrieelementen oder Lagefehler von gefugten Bauteilen resultieren meist aus Positionierfehlern. Zur Unterstutzung der Planung von Fertigungsablaufen wird ein Verfahren vorgestellt, das die Synthese von Positionierungen innerhalb mehrstufiger Fertigungsprozesse unterstutzt. Abgeleitet aus einer Vorgabe fur den maximal zulassigen Positionierfehler liefert der Synthesealgorithmus Bedingungen fur die Gestaltung der zugehorigen Bauteilpositionierungen. Neben der Ableitung sinnvoller Einzeltoleranzen fur die zur Positionierung verwendeten Geometrieelemente gibt das dargestellte Verfahren Hilfestellung bei der kinematischen Auslegung der Auflagerstellen.